少妇内射兰兰久久_日韩欧美激情视频_白丝无码喷水_九九视频免费国产视影院_欧美亚洲精品午夜理论片_亚洲欧美中文字幕在线亚洲_免费看三级片永久网站_精品人妻无码专_国产香蕉尹人综合在线_9191在线精品播放

（1）

基板尺寸

500mm*500mm

（2）

基板平整度

＜10u

（3）

基板浸潤性

＜15°

（4）

基板溫度

23±2℃

（1）

類型

異丙醇、DMF、DMSO等有機溶劑或其它混合溶劑

（2）

粘度

1~70CPS

（3）

固含量

7%~50%

（1）

成膜方式

狹縫式涂布

（2）

粘度

300nm~10um（干膜）

（3）

成膜均一性

片內(nèi)≤5%，片間≤5%

序號

項目

技術參數(shù)

備注

1

材質(zhì)

SUS630

2

涂布寬幅

450mm

3

平面度/直線度

≤3um

4

內(nèi)腔粗糙度

Ra≤0.025

5

狹縫間隙

墊片式，墊片厚度均勻性≤±2um

6

間隙調(diào)節(jié)范圍

≤±10um

7

除邊范圍

≤10mm

8

涂布頭防撞組件

低于唇口20um，有效防止唇口發(fā)生碰撞

9

涂布頭校正

采用高精度直線位移傳感器自動校正

10

排泡設計

模頭腔室高位排泡孔

序號

項目

技術參數(shù)

備注

1

泵體材質(zhì)

SUS316L

2

密封圈材質(zhì)

耐腐蝕密封圈

3

泵容積

5ml

4

驅(qū)動控制

伺服電機、滾珠絲桿

5

吐液控制分辨率

0.01ul/s

6

響應時間

0.01s

7

吐液速度

0~2000ul/s

8

最大吐液加速度

2000ul/s2

9

功能配置

1）供液泵補液后自動泄壓功能；

2）出液延時功能；

3）末端回吸功能；

4）自動補液功能；

5）多段式涂布調(diào)節(jié)；

序號

項目

技術參數(shù)

1

Z軸數(shù)量

2個

2

Z軸分辨率

0.1um

3

Z軸驅(qū)動控制

伺服電機、研磨級絲桿、導軌

4

Z軸重復定位精度

≤5um

5

Z軸速度區(qū)間

0~50mm/s

6

Y軸驅(qū)動形式

平臺驅(qū)動

7

Y軸驅(qū)動控制

伺服電機、研磨級絲桿、導軌

8

Y軸速度區(qū)間

0~200mm/s

9

Y軸運動面精度

優(yōu)于±5um

10

Y軸重復精度

≤5um

11

功能配置

1）涂布加速、減速可設定調(diào)節(jié)；

2）Coating Gap可調(diào)；

3）末端回吸Gap可調(diào)；

序號

項目

技術參數(shù)

備注

1

材質(zhì)

000級花崗巖

2

適配基板尺寸

500*500mm

3

表面平整度

水平度≤±5um

4

基板定位

平臺真空吸附

5

基板對位方式

手動

6

取放片方式

手動

序號

項目

技術參數(shù)

備注

1

管路材質(zhì)

PFA

2

供液罐

剝離材質(zhì)，100ml容積

3

供液方式

罐體加壓

4

清洗罐

不銹鋼材質(zhì)

序號

項目

技術參數(shù)

備注

1

預涂方式

預涂平臺

2

模頭唇口清洗

手動

3

浸泡、排液槽

設備閑置、管路清潔、排廢時使用

序號

項目

技術參數(shù)

備注

1

觸摸屏

預涂平臺

2

Log記錄功能

每片基板涂布過程可查看，包含涂布機各軸在涂布過程中各時間點速度位置參數(shù)

3

操作權(quán)限

三種操作權(quán)限登錄

設備手動、半自動、自動動作可全部在界面進行操作